193 nm oro tarpu išdėstyta nulinės eilės banginė plokštė
193 nm bangos ilgio oro tarpu išdėstyta nulinės eilės banginė plokštė be klijų sluoksnių pasižymi stipriu struktūriniu stabilumu ir atsparumu senėjimui. Kvarcas atsparus giliai UV korozijai, tinka nuolatiniam didelės galios lazerio veikimui ir užtikrina nuoseklų poliarizacijos valdymą.
Savybės: Oro tarpais Storis 0,3–1,5 mm Aukštos žalos slenkstis AR dengta ir pritvirtinta | ![]() |
Prekės Nr. :
WPA-193nmProdukto kilmė :
FuZhouSpecifikacijos:
Medžiaga: | Kvarcas |
Skersmens tolerancija: | +0,0, -0,1 mm |
Bangos fronto iškraipymas: | λ/8 esant 632,8 nm bangos ilgiui |
Lėtėjimo tolerancija: | λ/50 |
Paralelizmas: | <1 lanko sekundė |
Paviršiaus kokybė: | 20/10 |
Skaidri diafragma: | >80% |
Danga: | S1 ir S2: R<0,2% bangos ilgiui |
Standartinis bangos ilgis: | 193 nm |
Standartiniai produktai:
Pusiau banguotos plokštės, P/N# | Ketvirčio bangų plokštės, P/N# | Skersmuo (mm) |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12.7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15,0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20,0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25.4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30,0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35,0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50,0 |
193 nm bangos ilgio oro tarpu išdėstytos nulinės eilės banginės plokštės techniniai privalumai:
193 nm bangos ilgio oro tarpo bangolaidžio plokštėje naudojama dvigubo kvarco oro tarpais išdėstyta struktūra, kuri gerokai sumažina medžiagos sugerties nuostolius ir pasižymi puikiu pralaidumu giliose UV juostose, tokiose kaip ArF eksimeriniai lazeriai. Oro tarpo konstrukcija leidžia išvengti terminio įtempio dėl sukibimo, todėl lazeris ilgai veikia didelės galios režimu. Naudojant jonų pluošto apdailą, pasiekiamas nanoskalės paviršiaus lygumas, gerokai sumažinamas sklaidos nuostoliai ir optimizuojama bangos fronto kokybė, todėl ji tinka didelio tikslumo poliarizacijos valdymui litografijoje.