193 nm Žemas užsakymas Banguota plokštė, giliosios ultravioletinės poliarizacijos įtaisas, tiksliai reguliuoja krintančios šviesos poliarizacijos būseną. Naudojamas DUV sistemose, tokiose kaip litografija ir lazeriniai tyrimai, jis pagamintas iš 193 nm spinduliuotei atsparių medžiagų, kad būtų užtikrintas stabilumas ir tikslumas.
Savybės: Storis: 0,1–0,5 mm Didelė žalos riba |
![]() |
Prekės Nr. :
WPLProdukto kilmė :
FuZhouSpecifikacijos:
Medžiaga:
|
Kvarcas
|
Skersmens tolerancija:
|
+0,0, -0,1 mm
|
Bangos fronto iškraipymas:
|
λ/8 esant 632,8 nm bangos ilgiui
|
Lėtėjimo tolerancija:
|
λ/50
|
Paralelizmas:
|
<1 lanko sekundė
|
Paviršiaus kokybė:
|
20/10
|
Skaidri diafragma:
|
>90%
|
Danga:
|
S1 ir S2: R<0,2% bangos ilgiui
|
Standartinis bangos ilgis:
|
193,368 nm
|
193 nm Produktai:
Pusiau banguotos plokštės, P/N#
|
Ketvirčio bangų plokštės, P/N#
|
Skersmuo (mm)
|
WPL-210-193
|
WPL-410-193
|
10.0
|
WPL-212-193
|
WPL-412-193
|
12.7
|
WPL-215-193
|
WPL-415-193
|
15,0
|
WPL-220-193
|
WPL-420-193
|
20,0
|
WPL-225-193
|
WPL-425-193
|
25.4
|
WPL-230-193
|
WPL-430-193
|
30,0
|
WPL-235-193
|
WPL-435-193
|
35,0
|
WPL-250-193
|
WPL-450-193
|
50,0
|